Diamond-like carbon gradient film prepared by unbalanced magnetron sputtering and plasma immersion ion implantation hybrid technique: Fid-Bau Portal

Diamond-like carbon gradient film prepared by unbalanced magnetron sputtering and plasma immersion ion implantation hybrid technique

Ma, F. / Li, G. / Li, H. / Ma, H. / Cai, X.

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Titel:

Diamond-like carbon gradient film prepared by unbalanced magnetron sputtering and plasma immersion ion implantation hybrid technique

Beteiligte:

Ma, F. (Autor:in) / Li, G. (Autor:in) / Li, H. (Autor:in) / Ma, H. (Autor:in) / Cai, X. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 57 ; 82-86

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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