DLC Film Fabricated by a Composite Technique of Unbalanced Magnetron Sputtering and PIII: Fid-Bau Portal

DLC Film Fabricated by a Composite Technique of Unbalanced Magnetron Sputtering and PIII

Ma, F. / Chen, Q. / Cai, X. / Li, G. / Ma, H.

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Titel:

DLC Film Fabricated by a Composite Technique of Unbalanced Magnetron Sputtering and PIII

Beteiligte:

Ma, F. (Autor:in) / Chen, Q. (Autor:in) / Cai, X. (Autor:in) / Li, G. (Autor:in) / Ma, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 43 ; 1398-1402

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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