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Systematic study of amorphous hydrogenated and fluorinated carbon films

Lamperti, A. / Ossi, P. M.

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Titel:

Systematic study of amorphous hydrogenated and fluorinated carbon films

Beteiligte:

Lamperti, A. (Autor:in) / Ossi, P. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 205 ; 113-120

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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