Toward accurate in-depth profiling of As and P ultra-shallow implants by SIMS: Fid-Bau Portal

Toward accurate in-depth profiling of As and P ultra-shallow implants by SIMS

Merkulov, A. / de Chambost, E. / Schuhmacher, M. / Peres, P.

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Titel:

Toward accurate in-depth profiling of As and P ultra-shallow implants by SIMS

Beteiligte:

Merkulov, A. (Autor:in) / de Chambost, E. (Autor:in) / Schuhmacher, M. (Autor:in) / Peres, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 640-644

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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