Multiple As delta layered Si thin films for SIMS quantification and depth scale calibration: Fid-Bau Portal

Multiple As delta layered Si thin films for SIMS quantification and depth scale calibration

Cho, S. B. / Shon, H. K. / Kang, H. J. / Hong, T. E. / Kim, H. K. / Lee, H. I. / Kim, K. J. / Moon, D. W.

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Titel:

Multiple As delta layered Si thin films for SIMS quantification and depth scale calibration

Beteiligte:

Cho, S. B. (Autor:in) / Shon, H. K. (Autor:in) / Kang, H. J. (Autor:in) / Hong, T. E. (Autor:in) / Kim, H. K. (Autor:in) / Lee, H. I. (Autor:in) / Kim, K. J. (Autor:in) / Moon, D. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 302-305

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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