SIMS depth profiling of thin boron nitride insulating films: Fid-Bau Portal

SIMS depth profiling of thin boron nitride insulating films

Cwil, M. / Firek, P. / Konarski, P. / Werbowy, A.

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Titel:

SIMS depth profiling of thin boron nitride insulating films

Beteiligte:

Cwil, M. (Autor:in) / Firek, P. (Autor:in) / Konarski, P. (Autor:in) / Werbowy, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE -WROCLAW- ; 26 ; 135-142

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0137-1339

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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