Comparison between Xe+ and O2+ primary ions, at low impact energy, on B delta-doping, SiGe-Si superlattice and Al/Ti multilayer structures: Fid-Bau Portal

Comparison between Xe+ and O2+ primary ions, at low impact energy, on B delta-doping, SiGe-Si superlattice and Al/Ti multilayer structures

Laugier, F. / Holliger, P. / Dupuy, J. C. / Baboux, N.

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Titel:

Comparison between Xe+ and O2+ primary ions, at low impact energy, on B delta-doping, SiGe-Si superlattice and Al/Ti multilayer structures

Beteiligte:

Laugier, F. (Autor:in) / Holliger, P. (Autor:in) / Dupuy, J. C. (Autor:in) / Baboux, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 348-353

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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