TOF-SIMS characterization of industrial materials: from silicon wafer to polymer: Fid-Bau Portal

TOF-SIMS characterization of industrial materials: from silicon wafer to polymer

Karen, A. / Man, N. / Shibamori, T. / Takahashi, K.

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Titel:

TOF-SIMS characterization of industrial materials: from silicon wafer to polymer

Beteiligte:

Karen, A. (Autor:in) / Man, N. (Autor:in) / Shibamori, T. (Autor:in) / Takahashi, K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 541-546

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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