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Titel:

Nanoimprint Lithography: Methods and Material Requirements

Beteiligte:

Guo, L. J. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 19 ; 495-513

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

19 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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