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    Titel:

    Physical and Chemical Characteristics of the Ceramic Conditioner in Chemical Mechanical Planarization

    Beteiligte:

    Park, J.-Y. (Autor:in) / Eom, D.-H. (Autor:in) / Lee, S.-H. (Autor:in) / Myung, B.-Y. (Autor:in) / Lee, S.-I. (Autor:in) / Park, J.-G. (Autor:in) / Gao, Y. / Tamaki, J. / Kitajima, K.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology V ; 223-228

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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