Fachinformationsdienst BAUdigital

Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik

    Chemical mechanical planarization for microelectronics applications

    Neue Suche nach: Zantye, P. B.
    Neue Suche nach: Kumar, A.
    Neue Suche nach: Sikder, A. K.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Chemical mechanical planarization for microelectronics applications

    Neue Suche nach: Zantye, P. B.
    Neue Suche nach: Kumar, A.
    Neue Suche nach: Sikder, A. K.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Chemical mechanical planarization for microelectronics applications

    Neue Suche nach: Zantye, P. B.
    Neue Suche nach: Kumar, A.
    Neue Suche nach: Sikder, A. K.

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Zugriff

    Zugriff über TIB
    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen
    Bestellung bei Subito €

    Seitennavigation

    Dokumentinformationen
    Ähnliche Titel

    Exportieren, teilen und zitieren

    Dokumentinformationen
    Titel:

    Chemical mechanical planarization for microelectronics applications

    Beteiligte:

    Zantye, P. B. (Autor:in) / Kumar, A. (Autor:in) / Sikder, A. K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING R REPORTS -LAUSANNE- ; 45 ; 89-220

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    132 pages

    ISSN:

    0927-796X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

    Ähnliche Titel

    Advances in Chemical-Mechanical Planarization

    Singh, R. K. / Bajaj, R. | British Library Online Contents | 2002

    Particle Technology in Chemical Mechanical Planarization

    Kalyan S. Gokhale / Brij M. Moudgil | DOAJ | 2014

    Freier Zugriff

    Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

    Oliver, Michael R. | TIBKAT | 2004

    Chemical mechanical planarization of copper pH effect

    Du, T. / Desai, V. | British Library Online Contents | 2003

    Oxidation and removal mechanisms during chemical-mechanical planarization

    Ng, D. / Kulkarni, M. / Johnson, J. et al. | British Library Online Contents | 2007

    Nach oben