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    Titel:

    Development of New Mica Abrasives Suitable for High Performance Mechanochemical Polishing of Si Wafers

    Beteiligte:

    Yasunaga, N. (Autor:in) / Okada, S. (Autor:in) / Gao, Y. / Tamaki, J. / Kitajima, K.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology V ; 253-256

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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