Precursor mutual interactions in the kinetics of MOCVD of SBT films: Fid-Bau Portal

Precursor mutual interactions in the kinetics of MOCVD of SBT films

Condorelli, G. G. / Baeri, A. / Anastasi, G. / Fragala, I. L.

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Titel:

Precursor mutual interactions in the kinetics of MOCVD of SBT films

Beteiligte:

Condorelli, G. G. (Autor:in) / Baeri, A. (Autor:in) / Anastasi, G. (Autor:in) / Fragala, I. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 167-171

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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