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    Titel:

    Synthesis and characterization of hafnium tert-butylacetoacetate as new MOCVD precursor for HfO2 films

    Beteiligte:

    Pasko, S. (Autor:in) / Hubert-Pfalzgraf, L. G. (Autor:in) / Abrutis, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 59 ; 1836-1840

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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