Laser thermal processing for ultra shallow junction formation: numerical simulation and comparison with experiments: Fid-Bau Portal

Laser thermal processing for ultra shallow junction formation: numerical simulation and comparison with experiments

Hernandez, M. / Venturini, J. / Zahorski, D. / Boulmer, J. / Debarre, D. / Kerrien, G. / Sarnet, T. / Laviron, C. / Semeria, M. N. / Camel, D.

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Hernandez, M. / Venturini, J. / Zahorski, D. / Boulmer, J. / Debarre, D. / Kerrien, G. / Sarnet, T. / Laviron, C. / Semeria, M. N. / Camel, D.

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Titel:

Laser thermal processing for ultra shallow junction formation: numerical simulation and comparison with experiments

Beteiligte:

Hernandez, M. (Autor:in) / Venturini, J. (Autor:in) / Zahorski, D. (Autor:in) / Boulmer, J. (Autor:in) / Debarre, D. (Autor:in) / Kerrien, G. (Autor:in) / Sarnet, T. (Autor:in) / Laviron, C. (Autor:in) / Semeria, M. N. (Autor:in) / Camel, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 345-351

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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