Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation: Fid-Bau Portal

Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation

Hernandez, M. / Venturini, J. / Berard, D. / Kerrien, G. / Sarnet, T. / Debarre, D. / Boulmer, J. / Laviron, C. / Camel, D. / Santailler, J. L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation

Hernandez, M. / Venturini, J. / Berard, D. / Kerrien, G. / Sarnet, T. / Debarre, D. / Boulmer, J. / Laviron, C. / Camel, D. / Santailler, J. L.

Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation

Hernandez, M. / Venturini, J. / Berard, D. / Kerrien, G. / Sarnet, T. / Debarre, D. / Boulmer, J. / Laviron, C. / Camel, D. / Santailler, J. L.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Laser thermal processing using an optical coating for ultra shallow junction formation

Beteiligte:

Hernandez, M. (Autor:in) / Venturini, J. (Autor:in) / Berard, D. (Autor:in) / Kerrien, G. (Autor:in) / Sarnet, T. (Autor:in) / Debarre, D. (Autor:in) / Boulmer, J. (Autor:in) / Laviron, C. (Autor:in) / Camel, D. (Autor:in) / Santailler, J. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 105-108

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Jain, A. | British Library Online Contents | 2008

Laser thermal processing for ultra shallow junction formation: numerical simulation and comparison with experiments

Hernandez, M. / Venturini, J. / Zahorski, D. et al. | British Library Online Contents | 2003

Effect of number of laser pulses on p+/n silicon ultra-shallow junction formation during non-melt ultra-violet laser thermal annealing

Jung, Sang Min / Park, Chul Jin / Jeong, Hongsik et al. | British Library Online Contents | 2017

Effect of number of laser pulses on p+/n silicon ultra-shallow junction formation during non-melt ultra-violet laser thermal annealing

Jung, Sang Min / Park, Chul Jin / Jeong, Hongsik et al. | British Library Online Contents | 2017

Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions

Kerrien, G. / Hernandez, M. / Laviron, C. et al. | British Library Online Contents | 2003

Nach oben