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    Titel:

    Experimental and simulation study of the flash lamp annealing for boron ultra-shallow junction formation and its stability

    Beteiligte:

    Mok, K. R. (Autor:in) / Yeong, S. H. (Autor:in) / Colombeau, B. (Autor:in) / Benistant, F. (Autor:in) / Poon, C. H. (Autor:in) / Chan, L. (Autor:in) / Srinivasan, M. P. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 154-155 ; 14-19

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2008

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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