Oxide precipitates in annealed nitrogen-doped 300mm CZ-SI: Fid-Bau Portal

Oxide precipitates in annealed nitrogen-doped 300mm CZ-SI

Akhmetov, V. D. / Richter, H. / Lysytskiy, O. / Wahlich, R. / Muller, T.

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Titel:

Oxide precipitates in annealed nitrogen-doped 300mm CZ-SI

Beteiligte:

Akhmetov, V. D. (Autor:in) / Richter, H. (Autor:in) / Lysytskiy, O. (Autor:in) / Wahlich, R. (Autor:in) / Muller, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 391-396

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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