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The Research Progress of AlN Piezoelectric Thin Films

Xiaohong, X. / Haishun, W. / Fuqiang, Z.

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Titel:

The Research Progress of AlN Piezoelectric Thin Films

Beteiligte:

Xiaohong, X. (Autor:in) / Haishun, W. (Autor:in) / Fuqiang, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING ; 31 ; 456-459

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1002-185X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 669

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