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Strain effects in device processing of silicon-on-insulator materials

Camassel, J. / Tiberj, A.

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Titel:

Strain effects in device processing of silicon-on-insulator materials

Beteiligte:

Camassel, J. (Autor:in) / Tiberj, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 212-213 ; 742-748

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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