Coherent X-Ray Diffraction Imaging and Characterization of Strain in Silicon-on-Insulator Nanostructures: Fid-Bau Portal

Coherent X-Ray Diffraction Imaging and Characterization of Strain in Silicon-on-Insulator Nanostructures

Xiong, G. / Moutanabbir, O. / Reiche, M. / Harder, R. / Robinson, I.

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Titel:

Coherent X-Ray Diffraction Imaging and Characterization of Strain in Silicon-on-Insulator Nanostructures

Beteiligte:

Xiong, G. (Autor:in) / Moutanabbir, O. (Autor:in) / Reiche, M. (Autor:in) / Harder, R. (Autor:in) / Robinson, I. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 26 ; 7747-7763

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

17 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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