Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography: Fid-Bau Portal

Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography

Rocchia, M. / Borini, S. / Rossi, A. M. / Boarino, L. / Amato, G.

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Titel:

Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography

Beteiligte:

Rocchia, M. (Autor:in) / Borini, S. (Autor:in) / Rossi, A. M. (Autor:in) / Boarino, L. (Autor:in) / Amato, G. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 15 ; 1465-1469

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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