Constitution, microstructure, mechanical properties, and performance of magnetron-sputtered carbon films with additions of silicon: Fid-Bau Portal

Constitution, microstructure, mechanical properties, and performance of magnetron-sputtered carbon films with additions of silicon

Bauer, C. / Leiste, H. / Stuber, M. / Ulrich, S. / Holleck, H.

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Titel:

Constitution, microstructure, mechanical properties, and performance of magnetron-sputtered carbon films with additions of silicon

Beteiligte:

Bauer, C. (Autor:in) / Leiste, H. (Autor:in) / Stuber, M. (Autor:in) / Ulrich, S. (Autor:in) / Holleck, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 34 ; 912-918

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0933-5137

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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