Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates: Fid-Bau Portal

Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates

Sawano, K. / Koh, S. / Hirose, Y. / Hattori, T. / Nakagawa, K. / Shiraki, Y.

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Titel:

Formation of thin SiGe virtual substrates by ion implantation into Si substrates

Beteiligte:

Sawano, K. (Autor:in) / Koh, S. (Autor:in) / Hirose, Y. (Autor:in) / Hattori, T. (Autor:in) / Nakagawa, K. (Autor:in) / Shiraki, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 224 ; 99-103

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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