Ar plasma irradiation effects in atomically controlled Si epitaxial growth: Fid-Bau Portal

Ar plasma irradiation effects in atomically controlled Si epitaxial growth

Muto, D. / Sakuraba, M. / Seino, T. / Murota, J.

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Titel:

Ar plasma irradiation effects in atomically controlled Si epitaxial growth

Beteiligte:

Muto, D. (Autor:in) / Sakuraba, M. (Autor:in) / Seino, T. (Autor:in) / Murota, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 224 ; 210-214

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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