Atomically controlled Ge epitaxial growth on Si(100) in Ar-plasma-enhanced GeH4 reaction: Fid-Bau Portal

Atomically controlled Ge epitaxial growth on Si(100) in Ar-plasma-enhanced GeH4 reaction

Sugawara, K. / Sakuraba, M. / Murota, J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Atomically controlled Ge epitaxial growth on Si(100) in Ar-plasma-enhanced GeH4 reaction

Sugawara, K. / Sakuraba, M. / Murota, J.

Atomically controlled Ge epitaxial growth on Si(100) in Ar-plasma-enhanced GeH4 reaction

Sugawara, K. / Sakuraba, M. / Murota, J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Atomically controlled Ge epitaxial growth on Si(100) in Ar-plasma-enhanced GeH4 reaction

Beteiligte:

Sugawara, K. (Autor:in) / Sakuraba, M. (Autor:in) / Murota, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 69-72

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

Muto, D. / Sakuraba, M. / Seino, T. et al. | British Library Online Contents | 2004

Selective epitaxial growth of Si1−xGex films via the alternating gas supply of Si2H6, GeH4, and Cl2: Effects of Cl2 exposure

Park, S. J. / Baik, S. / Kim, H. | British Library Online Contents | 2012

AlN epitaxial growth on atomically flat initially nitrided -Al~2O~3 wafer

Suetsugu, T. / Yamazaki, T. / Tomabechi, S. et al. | British Library Online Contents | 1997

Atomically Controlled Plasma Processing for Group IV Quantum Heterostructure Formation

Sakuraba, M. / Sugawara, K. / Murota, J. | British Library Online Contents | 2011

Achieving atomically flat surfaces for LiGaO2 substrates for epitaxial growth of GaN films

Li, G. / Mu, S. / Shih, S. J. | British Library Online Contents | 2010

Nach oben