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    Titel:

    Fabrication and device characteristics of strained-Si-on-insulator (strained-SOI) CMOS

    Beteiligte:

    Takagi, S. i. (Autor:in) / Mizuno, T. (Autor:in) / Tezuka, T. (Autor:in) / Sugiyama, N. (Autor:in) / Numata, T. (Autor:in) / Usuda, K. (Autor:in) / Moriyama, Y. (Autor:in) / Nakaharai, S. (Autor:in) / Koga, J. (Autor:in) / Tanabe, A. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 224 ; 241-247

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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