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Nakano, Y. / Kachi, T. / Jimbo, T.

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Titel:

N-type implantation doping of GaN

Beteiligte:

Nakano, Y. (Autor:in) / Kachi, T. (Autor:in) / Jimbo, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 6 ; 515-517

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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