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Doping of Silicon Carbide by Ion Implantation

Svensson, B. G. / Hallen, A. / Linnarsson, M. K. / Kuznetsov, A. Y. / Janson, M. S. / Aberg, D. / Osterman, J. / Persson, P. O. A. / Hultman, L. / Storasta, L.

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Titel:

Doping of Silicon Carbide by Ion Implantation

Beteiligte:

Svensson, B. G. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Kuznetsov, A. Y. (Autor:in) / Janson, M. S. (Autor:in) / Aberg, D. (Autor:in) / Osterman, J. (Autor:in) / Persson, P. O. A. (Autor:in) / Hultman, L. (Autor:in) / Storasta, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 549-554

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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