Passivation of GaAs field-effect transistors in diluted S2Cl2 solution: Fid-Bau Portal

Passivation of GaAs field-effect transistors in diluted S2Cl2 solution

Wu, Y. / Liu, Y. / Ding, X. M. / Obbard, E. G. / Wang, X. Z. / Ding, H. J. / Hou, X. Y. / Li, X. B.

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Titel:

Passivation of GaAs field-effect transistors in diluted S2Cl2 solution

Beteiligte:

Wu, Y. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Ding, X. M. (Autor:in) / Obbard, E. G. (Autor:in) / Wang, X. Z. (Autor:in) / Ding, H. J. (Autor:in) / Hou, X. Y. (Autor:in) / Li, X. B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 228 ; 5-9

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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