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Study of polymer humidity sensor array on silicon wafer

Wang, J. / Shi, K. / Chen, L. / Zhang, X.

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Titel:

Study of polymer humidity sensor array on silicon wafer

Beteiligte:

Wang, J. (Autor:in) / Shi, K. (Autor:in) / Chen, L. (Autor:in) / Zhang, X. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 39 ; 3155-3157

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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