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    Titel:

    The Mechanism of Polymer Particles in Silicon Wafer CMP

    Beteiligte:

    Xu, X.F. (Autor:in) / Chen, H.F. (Autor:in) / Ma, H.T. (Autor:in) / Ma, B.X. (Autor:in) / Peng, W. (Autor:in) / Guo, D. / Wang, J. / Jia, Z. / Kang, R. / Gao, H.

    Erschienen in:

    Advances in Materials Manufacturing Science and Technology XIII Volume I Advanced Manufacturing Technology and Equipment, and Manufacturing Systems and Automation ; 231-236

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 626/627

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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