Hafnium oxide gate dielectrics grown from an alkoxide precursor: structure and defects: Fid-Bau Portal

Hafnium oxide gate dielectrics grown from an alkoxide precursor: structure and defects

Frank, M. M. / Sayan, S. / Dormann, S. / Emge, T. J. / Wielunski, L. S. / Garfunkel, E. / Chabal, Y. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Hafnium oxide gate dielectrics grown from an alkoxide precursor: structure and defects

Frank, M. M. / Sayan, S. / Dormann, S. / Emge, T. J. / Wielunski, L. S. / Garfunkel, E. / Chabal, Y. J.

Hafnium oxide gate dielectrics grown from an alkoxide precursor: structure and defects

Frank, M. M. / Sayan, S. / Dormann, S. / Emge, T. J. / Wielunski, L. S. / Garfunkel, E. / Chabal, Y. J.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Hafnium oxide gate dielectrics grown from an alkoxide precursor: structure and defects

Beteiligte:

Frank, M. M. (Autor:in) / Sayan, S. (Autor:in) / Dormann, S. (Autor:in) / Emge, T. J. (Autor:in) / Wielunski, L. S. (Autor:in) / Garfunkel, E. (Autor:in) / Chabal, Y. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 109 ; 6-10

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Liu, M. / Fang, Q. / He, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Hafnium oxide polymer ceramic precursor and preparation method thereof

WANG QIAN / GAI KE / ZHAO TONG et al. | Europäisches Patentamt | 2024

Freier Zugriff

Deposition temperature dependent optical and electrical properties of ALD HfO2 gate dielectrics pretreated with tetrakisethylmethylamino hafnium

Gao, J. / He, G. / Zhang, J.W. et al. | British Library Online Contents | 2015

High-surface-area mesoporous spinel from a double-alkoxide precursor

Alvarez Lopez, M. R. / Torralvo Fernandez, M. J. / Mas Carbonell, C. et al. | British Library Online Contents | 1993

Photoactive Gate Dielectrics

Shen, Q. / Wang, L. / Liu, S. et al. | British Library Online Contents | 2010

Nach oben