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    Titel:

    VUV spectroscopic ellipsometry applied to the characterization of high-k dielectrics

    Beteiligte:

    Boher, P. (Autor:in) / Defranoux, C. (Autor:in) / Heinrich, P. (Autor:in) / Wolstenholme, J. (Autor:in) / Bender, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 109 ; 64-68

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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