Optical properties of non-stoichiometric sputtered zirconium nitride films: Fid-Bau Portal

Optical properties of non-stoichiometric sputtered zirconium nitride films

Benia, H. M. / Guemmaz, M. / Schmerber, G. / Mosser, A. / Parlebas, J. C.

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Titel:

Optical properties of non-stoichiometric sputtered zirconium nitride films

Beteiligte:

Benia, H. M. (Autor:in) / Guemmaz, M. (Autor:in) / Schmerber, G. (Autor:in) / Mosser, A. (Autor:in) / Parlebas, J. C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 211 ; 146-155

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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