Preparation of tantalum oxide thin films by photo-assisted atomic layer deposition: Fid-Bau Portal

Preparation of tantalum oxide thin films by photo-assisted atomic layer deposition

Kwak, J. C. / Lee, Y. H. / Choi, B. H.

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Titel:

Preparation of tantalum oxide thin films by photo-assisted atomic layer deposition

Beteiligte:

Kwak, J. C. (Autor:in) / Lee, Y. H. (Autor:in) / Choi, B. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 230 ; 249-253

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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