Optical Investigation of Stacking Faults and Micro-Crystalline Inclusions In-Low-Doped 4H-SiC Layers: Fid-Bau Portal

Optical Investigation of Stacking Faults and Micro-Crystalline Inclusions In-Low-Doped 4H-SiC Layers

Juillaguet, S. / Balloud, C. / Pernot, J. / Sartel, C. / Souliere, V. / Camassel, J. / Monteil, Y.

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Titel:

Optical Investigation of Stacking Faults and Micro-Crystalline Inclusions In-Low-Doped 4H-SiC Layers

Beteiligte:

Juillaguet, S. (Autor:in) / Balloud, C. (Autor:in) / Pernot, J. (Autor:in) / Sartel, C. (Autor:in) / Souliere, V. (Autor:in) / Camassel, J. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 577-580

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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