Formation of SiC Delta-Doped-Layer Structures by CVD: Fid-Bau Portal

Formation of SiC Delta-Doped-Layer Structures by CVD

Takahashi, K. / Uchida, M. / Kusumoto, O. / Yamashita, K. / Miyanaga, R. / Kitabatake, M.

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Titel:

Formation of SiC Delta-Doped-Layer Structures by CVD

Beteiligte:

Takahashi, K. (Autor:in) / Uchida, M. (Autor:in) / Kusumoto, O. (Autor:in) / Yamashita, K. (Autor:in) / Miyanaga, R. (Autor:in) / Kitabatake, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 743-746

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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