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Challenges for the characterization and integration of high-kappa dielectrics

Wallace, R. M.

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Titel:

Challenges for the characterization and integration of high-kappa dielectrics

Beteiligte:

Wallace, R. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 543-551

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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