SIMS depth profiling of SiGe:C structures in test pattern areas using low energy cesium with a Cameca IMS Wf: Fid-Bau Portal

SIMS depth profiling of SiGe:C structures in test pattern areas using low energy cesium with a Cameca IMS Wf

Juhel, M. / Laugier, F.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

SIMS depth profiling of SiGe:C structures in test pattern areas using low energy cesium with a Cameca IMS Wf

Juhel, M. / Laugier, F.

SIMS depth profiling of SiGe:C structures in test pattern areas using low energy cesium with a Cameca IMS Wf

Juhel, M. / Laugier, F.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

SIMS depth profiling of SiGe:C structures in test pattern areas using low energy cesium with a Cameca IMS Wf

Beteiligte:

Juhel, M. (Autor:in) / Laugier, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 698-703

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Merkulov, A. / Merkulova, O. / de Chambost, E. et al. | British Library Online Contents | 2004

Cesium redeposition artifacts during low energy ToF-SIMS depth profiling

Vitchev, R. G. / Brison, J. / Houssiau, L. | British Library Online Contents | 2009

CAMECA IMS 7f-GEO: Specialized SIMS tool for geosciences

Peres, P. / de Chambost, E. / Schuhmacher, M. | British Library Online Contents | 2008

SIMS analysis of residual gas elements with a Cameca IMS-6f ion microprobe

Kudriavtsev, Y. / Villegas, A. / Godines, A. et al. | British Library Online Contents | 2006

Short-term and long-term RSF repeatability for CAMECA SC-Ultra SIMS measurements

Barozzi, M. / Giubertoni, D. / Anderle, M. et al. | British Library Online Contents | 2004

Nach oben