Accurate on-line depth calibration with a laser interferometer during SIMS profiling on the Cameca IMS WF instrument: Fid-Bau Portal

Accurate on-line depth calibration with a laser interferometer during SIMS profiling on the Cameca IMS WF instrument

Merkulov, A. / Merkulova, O. / de Chambost, E. / Schuhmacher, M.

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Titel:

Accurate on-line depth calibration with a laser interferometer during SIMS profiling on the Cameca IMS WF instrument

Beteiligte:

Merkulov, A. (Autor:in) / Merkulova, O. (Autor:in) / de Chambost, E. (Autor:in) / Schuhmacher, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 954-958

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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