Fabrication of PECVD-silicon oxynitride-based optical waveguides: Fid-Bau Portal

Fabrication of PECVD-silicon oxynitride-based optical waveguides

Alayo, M. I. / Criado, D. / Carreno, M. N. / Pereyra, I.

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Titel:

Fabrication of PECVD-silicon oxynitride-based optical waveguides

Beteiligte:

Alayo, M. I. (Autor:in) / Criado, D. (Autor:in) / Carreno, M. N. (Autor:in) / Pereyra, I. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 112 ; 154-159

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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