Silicon Oxynitride ECR-PECVD Films for Integrated Optics: Fid-Bau Portal

Silicon Oxynitride ECR-PECVD Films for Integrated Optics

Pernas, P. L. / Ruiz, E. / Garrido, J. / Piqueras, J. / Paszti, F. / Climent-Font, A. / Lifante, G. / Cantelar, E.

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Titel:

Silicon Oxynitride ECR-PECVD Films for Integrated Optics

Beteiligte:

Pernas, P. L. (Autor:in) / Ruiz, E. (Autor:in) / Garrido, J. (Autor:in) / Piqueras, J. (Autor:in) / Paszti, F. (Autor:in) / Climent-Font, A. (Autor:in) / Lifante, G. (Autor:in) / Cantelar, E. (Autor:in) / Mendez-Vilas, A.

Erschienen in:

Cross-Disciplinary Applied Research in Materials Science and Technology ; 149-154

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 480/481

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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