Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions: Fid-Bau Portal

Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions

Kerrien, G. / Hernandez, M. / Laviron, C. / Sarnet, T. / Debarre, D. / Noguchi, T. / Zahorski, D. / Venturini, J. / Semeria, M. N. / Boulmer, J.

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Titel:

Optical characterization of laser processed ultra-shallow junctions

Beteiligte:

Kerrien, G. (Autor:in) / Hernandez, M. (Autor:in) / Laviron, C. (Autor:in) / Sarnet, T. (Autor:in) / Debarre, D. (Autor:in) / Noguchi, T. (Autor:in) / Zahorski, D. (Autor:in) / Venturini, J. (Autor:in) / Semeria, M. N. (Autor:in) / Boulmer, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 277-284

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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