Surface morphologies of excimer-laser annealed BF2+ implanted Si diodes: Fid-Bau Portal

Surface morphologies of excimer-laser annealed BF2+ implanted Si diodes

Burtsev, A. / Schut, H. / Nanver, L. K. / Veen, A. v. / Slabbekoorn, J. / Scholtes, T. L.

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Titel:

Surface morphologies of excimer-laser annealed BF2+ implanted Si diodes

Beteiligte:

Burtsev, A. (Autor:in) / Schut, H. (Autor:in) / Nanver, L. K. (Autor:in) / Veen, A. v. (Autor:in) / Slabbekoorn, J. (Autor:in) / Scholtes, T. L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 109-113

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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