Characterization of silicon carbide thin films grown on Si and SiO2/Si substrates: Fid-Bau Portal

Characterization of silicon carbide thin films grown on Si and SiO2/Si substrates

Zanola, P. / Bontempi, E. / Ricciardi, C. / Barucca, G. / Depero, L. E.

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Titel:

Characterization of silicon carbide thin films grown on Si and SiO2/Si substrates

Beteiligte:

Zanola, P. (Autor:in) / Bontempi, E. (Autor:in) / Ricciardi, C. (Autor:in) / Barucca, G. (Autor:in) / Depero, L. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 279-283

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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