Etching Mask Effect of the Nanoscratched Borosilicate Surface and Its Application to Maskless Pattern Fabrication: Fid-Bau Portal

Etching Mask Effect of the Nanoscratched Borosilicate Surface and Its Application to Maskless Pattern Fabrication

Youn, S. W. / Kang, C. G.

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Titel:

Etching Mask Effect of the Nanoscratched Borosilicate Surface and Its Application to Maskless Pattern Fabrication

Beteiligte:

Youn, S. W. (Autor:in) / Kang, C. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 475/479 ; 3479-3482

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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