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    Titel:

    Spectroscopic ellipsometry for in-line process control of SiGe:C HBT technology

    Beteiligte:

    Fursenko, O. (Autor:in) / Bauer, J. (Autor:in) / Zaumseil, P. (Autor:in) / Kruger, D. (Autor:in) / Goryachko, A. (Autor:in) / Yamamoto, Y. (Autor:in) / Kopke, K. (Autor:in) / Tillack, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 8 ; 273-278

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2005

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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