TEM and ellipsometry studies of nanolaminate oxide films prepared using atomic layer deposition: Fid-Bau Portal

TEM and ellipsometry studies of nanolaminate oxide films prepared using atomic layer deposition

Mitchell, D. R. / Attard, D. J. / Finnie, K. S. / Triani, G. / Barbe, C. J. / Depagne, C. / Bartlett, J. R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

TEM and ellipsometry studies of nanolaminate oxide films prepared using atomic layer deposition

Mitchell, D. R. / Attard, D. J. / Finnie, K. S. / Triani, G. / Barbe, C. J. / Depagne, C. / Bartlett, J. R.

TEM and ellipsometry studies of nanolaminate oxide films prepared using atomic layer deposition

Mitchell, D. R. / Attard, D. J. / Finnie, K. S. / Triani, G. / Barbe, C. J. / Depagne, C. / Bartlett, J. R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

TEM and ellipsometry studies of nanolaminate oxide films prepared using atomic layer deposition

Beteiligte:

Mitchell, D. R. (Autor:in) / Attard, D. J. (Autor:in) / Finnie, K. S. (Autor:in) / Triani, G. (Autor:in) / Barbe, C. J. (Autor:in) / Depagne, C. (Autor:in) / Bartlett, J. R. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 243 ; 267-279

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

13 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Kim, H. / McIntyre, P. C. / Saraswat, K. C. | British Library Online Contents | 2004

Hafnium silicon oxide films prepared by atomic layer deposition

Kukli, K. / Ritala, M. / Leskela, M. et al. | British Library Online Contents | 2004

Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al2O3-Y2O3 dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition

López, J. / Sotelo, A. / Castillón, F.F. et al. | British Library Online Contents | 2017

Influence of the bilayer thickness on the optical properties of Al2O3-Y2O3 dielectric nanolaminate films grown by thermal atomic layer deposition

López, J. / Sotelo, A. / Castillón, F.F. et al. | British Library Online Contents | 2017

Inducing order using nanolaminate templates

Orme, C.A. / Sadigh, B. / Surh, M.P. et al. | British Library Online Contents | 2011

Nach oben