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Modified Physical Vapor Transport Growth of SiC - Control of Gas Phase Composition for Improved Process Conditions

Wellmann, P. J. / Straubinger, T. L. / Desperrier, P. / Muller, R. / Kunecke, U. / Sakwe, S. A. / Schmitt, H. / Winnacker, A. / Blanquet, E. / Dedulle, J. M.

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Titel:

Modified Physical Vapor Transport Growth of SiC - Control of Gas Phase Composition for Improved Process Conditions

Beteiligte:

Wellmann, P. J. (Autor:in) / Straubinger, T. L. (Autor:in) / Desperrier, P. (Autor:in) / Muller, R. (Autor:in) / Kunecke, U. (Autor:in) / Sakwe, S. A. (Autor:in) / Schmitt, H. (Autor:in) / Winnacker, A. (Autor:in) / Blanquet, E. (Autor:in) / Dedulle, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 25-30

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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